100級潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動，與流體力學(xué)的層流概念不太相同，具體講就是垂直層流側(cè)回風(fēng)。和百級以上潔凈間所采用的混流或亂流方式（即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動）相比較，它具有效果完全、運(yùn)轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、粉塵堆集與再飄浮極少，以及管理容易等優(yōu)點(diǎn)，但是設(shè)備造價(jià)非常高，維護(hù)費(fèi)用也很高。
粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。
溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房屋，所以，對照明一向有很高的要求。主要有以下幾點(diǎn)：
局部照明，這是指為增加某一指定地點(diǎn)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明中一般不單獨(dú)使用局部照明。
混合照明，指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度應(yīng)占總照度的10%-15%。
根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》編制組的調(diào)查，對工作認(rèn)為比較合適的最低照度作了統(tǒng)計(jì)，其結(jié)果略高于150lx。因此，將一般照明的下限值定為150lx是合適的，雖然在300lx時(shí)有更高的工作效率。根據(jù)大量驗(yàn)收測定發(fā)現(xiàn)，最低照度值達(dá)到200lx以上就比較困難，實(shí)際上150lx已相當(dāng)亮了，因?yàn)槠骄斩纫哂谒芏?工作區(qū)內(nèi)用平均照度意義不大，因?yàn)橛腥舾牲c(diǎn)在150lx以下，就不適合工作。對于特別要求高照度操盤點(diǎn)可以采用局部照明，而不宜普遍提高整個(gè)車間的最低照度標(biāo)準(zhǔn)。除可利用局部照明外，必要時(shí)也可利用自然光，當(dāng)平面上有外廊時(shí)就可以做到這一點(diǎn)。