1.氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2.系統(tǒng)或房間的風量檢測。

3.室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

 4.自凈時間的檢測,通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

5.氣流流型檢測。

 6.噪聲的檢測。

 7.照度的檢測,照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

 8.振動的檢測,振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。

9.溫、濕度的檢測,溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

10.總風量和新風量的檢測。