潔凈實(shí)驗(yàn)室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。
按照國際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。
當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
疾控中心實(shí)驗(yàn)室的空氣具有潔凈度的要求,潔凈等級(jí)按病原性微生物實(shí)驗(yàn)和污染程度確定,其地理位置應(yīng)選擇遠(yuǎn)離人煙稠密、交通繁忙和空氣、水源、噪聲嚴(yán)重污染地區(qū)。
疾控中心實(shí)驗(yàn)室要按照功能用途劃區(qū)布置,將實(shí)驗(yàn)室與各區(qū)嚴(yán)格分開,人流、物流路徑分明,有污染排放的區(qū)域要設(shè)在實(shí)驗(yàn)室的下風(fēng)向,吸風(fēng)口設(shè)在上風(fēng)向,實(shí)驗(yàn)室周圍不宜種植飛揚(yáng)花粉、絨毛和落葉的植物。
疾控中心潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)思路
(1)人流:
初更室—氣閘更衣室—淋浴更衣室—緩沖室—進(jìn)入實(shí)驗(yàn)區(qū)。
離開時(shí)進(jìn)入凈身室(房間負(fù)壓),脫下身上所有的衣物,衣物放入雙門藥液浸泡柜(或其他方式消毒柜)內(nèi)(雙門藥液浸泡柜的門設(shè)計(jì)成控制式的,不允許同時(shí)打開);然后進(jìn)入淋浴室淋;淋浴后進(jìn)入記錄室,登記記錄自己的工作和身體污染情況,然后拿著身體狀況表進(jìn)入體檢室,作污染和常規(guī)檢查或住室觀察,無問題進(jìn)入氣閘更衣室換上自己的衣服下班。
(2)物流
物流:設(shè)計(jì)成單向性的,從專門的庫房(或暫存間)進(jìn)入緩沖間,再進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室。離開時(shí)必須通過雙門熱壓滅菌鍋進(jìn)入另一個(gè)緩沖間(雙門熱壓滅菌柜的門設(shè)計(jì)成控制式的,不允許同時(shí)打開)。任何物料只要進(jìn)入是實(shí)驗(yàn)區(qū),不能原路返回。
(3)三廢處理
a.廢液:廢液處理的方法是根據(jù)廢液的性質(zhì)確定的處理方法的。一般采取的方法有:化學(xué)處理方法、物理處理方法、生物處理方法。
b.廢氣:廢氣處理可采用的方法有:加熱滅菌方法、高效過濾器方法、混合滅菌方法、火焰滅菌方法等。
c.固體廢料:固體廢料的處理方法有:蒸汽滅菌方法、氣體熏蒸方法、液體浸泡方法、輻射滅菌方法、焚燒處理方法等。
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