集成電路正在從大規(guī)模集成電路(LSI)發(fā)展到集成度更高的超大規(guī)模集成電路(超 LSI)上來,塵埃問題是這些半導(dǎo)體制造工廠的最大問題之一。在超 LSI 的制造過程中,提出了以 0.1 微米塵埃為對象的要求潔凈度更高的潔凈室。為適應(yīng)這種要求,近年來研制了對 0.1~
0.17 微米塵埃具有99.99%以上捕集效率的高效空氣過濾器和0.1 微米垂直層流 10 級模型潔凈室。
0.1 微米的塵埃粒子計數(shù)器對儀器的精準(zhǔn)度要求極高,國產(chǎn)的檢測儀器很難達到要求,而進口的儀器價格昂貴,維護成本較高,還需要專業(yè)的人員來檢測和日常的保養(yǎng)。億天凈化為您提供美國原裝進口的 0.1 微米的塵埃粒子計數(shù)器——TSI 9110 的租賃服務(wù),用低廉的價格來獲得高品質(zhì)且原本十分昂貴的測試儀器。大大降低您的資金預(yù)算,免除日常維護、計量、校正的工作及費用,是您減輕投資、降低投資成本及風(fēng)險的最佳途徑。
TSI 公司 9110 型便攜式粒子計數(shù)器可精確測量到 0.100 微米的粒子。它所使用的氦氖激光技術(shù)可以極大程度提高信噪比。9110 型完全遵從 ISO-14644-1 標(biāo)準(zhǔn),是驗證一級和二級潔凈房間的最佳選擇。這款儀器可應(yīng)用在潔凈房間的監(jiān)測,過程監(jiān)控和過濾膜測試。
9110 型激光粒子計數(shù)器嚴(yán)格遵從 ISO 21501-4 協(xié)議。它通過標(biāo)準(zhǔn)的粒子測量方法來進行校驗,即用來自美國國家標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)研究所
的 PSL 小球通過 TSI 一流的篩分器和凝聚核粒子計數(shù)器校準(zhǔn)。
TSI 9110 特性和優(yōu)點
+ 精確測量 100 納米粒子
+ 粒徑范圍為 0.100 至 10 µm
+ 最多可同時測量八個通道數(shù)據(jù)
+ 流量為 28.3 升 / 分鐘 (1CFM)
+ 完全遵從 ISO 21501-4 要求
+ 是測量 1 級和 2 級潔凈房間的最佳選擇+ 使用增強的氦氖激光器
+ 高度可重復(fù)和可靠的測量 / 數(shù)據(jù)
+ 10000 個數(shù)據(jù)存儲量,999 個位置+ 以太網(wǎng),USB 和脈沖輸出
+ 工業(yè)聲光警報
+ 允許儲存和取消指定的菜單和配置
+ 最高顯示三種環(huán)境參數(shù)
+ 不銹鋼配件
+ 與 M32-01 Manifold 多點采樣完美連接+ 可進行符合 ISO
一級標(biāo)準(zhǔn)潔凈房間的驗證
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司成立于 2005 年,一直致力于受控空氣環(huán)境和液體環(huán)境品質(zhì)的發(fā)展。我們不僅是一個優(yōu)秀的儀器代理商和授權(quán)技術(shù)維修中心,同時更是一個出色的系統(tǒng)集成商,提供有線
/無線塵埃粒子/浮游菌等實時自動監(jiān)測系統(tǒng)、粒子可視化檢測系統(tǒng)、有線/無線粉塵濃度實時自動監(jiān)測系統(tǒng)、VOC 實時自動監(jiān)測系統(tǒng)、AMC 實時自動監(jiān)測系統(tǒng)等。主要服務(wù)于電子面板、半導(dǎo)體、生物制藥、動物實驗室、醫(yī)療、食品、科研院校、第三方檢測機構(gòu)、商業(yè)建筑環(huán)境等各大行業(yè),提供環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)整體解決方案。