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現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的 Metone227B 作校正
•首先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別,其測試原理一樣,但 Metone3413 流速為 1CFM (立方英尺 / 分鐘),而 Metone227B 則為 0.1CFM 。
•首先,請將潔凈臺開機(jī),工作半小時,其間內(nèi)也打開 Metone227B 和 Metone3413 ,讓其預(yù)熱半小時。
•準(zhǔn)備好 255 的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
•將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如 0.301um )放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
•設(shè)置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數(shù)
•取樣時間都設(shè)置為 00 : 01 : 00
•取樣次數(shù)都設(shè)置 03
•取樣模式都設(shè)置為 Auto
•間隔時間都設(shè)置為 00 : 00 : 05
•讀數(shù)模式都設(shè)置為 Cumulative
注:以上設(shè)置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 測試結(jié)果會是 Metone227B 的 10 倍。
•此時,打開 255 電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計約 60SCFH 時后,保持其工作狀態(tài)。
•此時,讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作,看其三次的平均結(jié)果,若在 20% 以內(nèi),視為合格。
•拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測試。
•以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。