1. 目的：為規(guī)范潔凈區(qū)塵埃粒子檢測標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。

2. 范圍：適用于潔凈區(qū)塵埃粒子檢測的操作。
3. 責(zé)任：QA潔凈度監(jiān)測人員。
4. 程序：
4.1概述：潔凈區(qū)懸浮粒子監(jiān)測采用計(jì)數(shù)濃度法，既通過測定潔凈區(qū)環(huán)境內(nèi)單位體積空氣中
含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數(shù)，來評定潔凈室（或潔凈區(qū)）的懸浮粒子潔凈度等級。
4.2儀器：Y09-9型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
4.3監(jiān)測原理：空氣中懸浮粒子在光的照射下產(chǎn)生光散射現(xiàn)象，散射光的強(qiáng)度與粒子的表面
積成正比。
4.4.1 測試規(guī)則
4.4.1.1 潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應(yīng)與其生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)（溫度控制在18℃～
26℃，相對濕度控制在45%～65%之間為宜）。
4.4.1.2 壓差：空氣潔凈度不同的潔凈室（潔凈區(qū)）之間的壓差應(yīng)≤5 Pa ，空氣潔凈度級別要求高的潔凈室（潔凈區(qū)）對相鄰的空氣潔凈度級別低的潔凈室（潔凈區(qū)）一般呈相對正壓。
4.4.2   測試狀態(tài)
4.4.2.1  靜態(tài)測試和動態(tài)測試
靜態(tài)測試時(shí)，室內(nèi)測試人員不得多于2人。測試報(bào)告見廠房潔凈度懸浮粒子監(jiān)測記錄表。
動態(tài)測試指潔凈室已處于正常狀態(tài)下的測試。
4.4.3 測試時(shí)間
測試應(yīng)在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于30min后開始。
4.4.4 懸浮粒子計(jì)數(shù)
4.4.4.1 采樣點(diǎn)數(shù)目及其布置
最少采樣點(diǎn)數(shù)目，懸浮粒子潔凈度測試的最少采樣點(diǎn)數(shù)目見下表1。
表 1    最少采樣點(diǎn)數(shù)目

面積S m2	潔 凈 度 級 別
	100	100000	300000
S＜10	2～3	2	2
10≤S＜20	4	2	2
20≤S＜40	8	2	2
40≤S＜100	16	2	2
100≤S＜200	40	3	3
注：表中的面積，對于單向流潔凈室，指的是送風(fēng)面積；對非單向流潔凈室，指的是房間面積。

 
4.4.4.1.1 采樣點(diǎn)的位置
a) 采樣點(diǎn)一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。  
b) 采樣點(diǎn)多于5點(diǎn)時(shí)，也可以在離地面0.8m—1.5m高度的區(qū)域內(nèi)分層布置，但每層不少
于5點(diǎn)。  
c) 采樣點(diǎn)的布置還可根據(jù)需要在生產(chǎn)及工藝關(guān)鍵操作區(qū)增加采樣點(diǎn)。
4.4.4.2 對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點(diǎn)的數(shù)目不得少于2個(gè)，總采樣次數(shù)不
得少于5次。每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)可以多于1次，且不同采樣點(diǎn)的采樣次數(shù)可以不同。
4.4.4.3 采樣量：不同潔凈度級別每次最小的采樣量見表2。
表2    每次最小采樣量

潔凈度級別	采樣量，L/次
	≥0.5μm	≥5μm
100	5.66	----
10000	2.83	8.5
100000	2.83	8.5
300000	2.83	8.5

4.4.4.4 采樣注意事項(xiàng)：
a) 采樣管口宜向上。
b) 布置采樣點(diǎn)時(shí)，應(yīng)避開回風(fēng)口。
c) 采樣時(shí)，測試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。
4.5.1 結(jié)果計(jì)算
  懸浮粒子濃度的采樣數(shù)據(jù)應(yīng)按下述步驟作統(tǒng)計(jì)計(jì)算：
4.5.1.1 采樣點(diǎn)的粒子濃度
         
  式中：C1———某一采樣點(diǎn)的粒子濃度，粒/m3；
        C0———某一采樣點(diǎn)的粒子濃度（儀器讀數(shù)），粒/L；
4.5.1.2 采樣點(diǎn)的平均粒子濃度

   式中：A———某一采樣點(diǎn)的平均粒子濃度，粒/m3；
         Ci———某一采樣點(diǎn)的粒子濃度（i=1，2，…，n），粒/m3；
         N———某一采樣點(diǎn)上的采樣次數(shù)，次。