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潔凈室噪音要求

潔凈室不僅僅對室內(nèi)空氣潔凈度有嚴格的要求,針對運行環(huán)境的噪音也有一定的國家標準參數(shù),因為潔凈室車間是一個相對密閉的、比較壓抑的一個環(huán)境,如果噪音控制不當,很容易造成車間工作人員以及生產(chǎn)環(huán)境的惡化。

① 噪聲的測定方法:

當房間的面積不大于 50m2 時,僅測定房間中心一個點。當房間的面積較大時,每增加 50m2 增加一個測點。測點距離地面 1.0m。當有條件時,宜測房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。

② 合格標準:

應符合設計要求,根據(jù)(潔凈廠房設計規(guī)范)的要求,潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應大于 60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應大于 65 dB(A)。

 

潔凈室噪聲控制

潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊干擾和對工作效率的影響。國內(nèi)對于噪聲對于健康影響的研究表明,低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲對健康的影響不太大。

國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規(guī)定:“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話,滿足操作或產(chǎn)品的要求,并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規(guī)定:“應根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設備)的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB(A)”。

從搜集的國內(nèi)外潔凈室的噪聲標準來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運行,滿足必要的談話聯(lián)系,提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65-70dB(A)范圍,醫(yī)療行業(yè)更低,F(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲級作為評價指標,也有少數(shù)標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值,而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個統(tǒng)一的容許值。

對國內(nèi)幾個行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明,不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41-64 dB(A),平均為54 dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51-75 dB(A),平均為65 dB(A)。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風量(或換氣次數(shù))和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關。

控制設備噪聲首先應從聲源上著手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由于技術或經(jīng)濟的原因而難于做到時,則應從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如,把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)有些潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間,或技術夾道或服務區(qū)內(nèi),潔凈室噪聲有明顯的降低。

潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關。但關鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。

關于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施,國內(nèi)外有關資料提出一些有效措施:

《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風機,還應該采用彈性減振基礎”。關于消聲器的使用,文中說:“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的,當風管敷設長度在15m內(nèi)時,就應考慮采用消聲器”。關于風管的連接,文中說:“通風機和送風管道與回風管道之間,應采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。

對風道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔凈室噪聲可以大幅度地降低。

排風系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例,在生產(chǎn)過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風系統(tǒng)。近年來,對于潔凈廠房排風系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視,注意選用低噪聲風機等。

潔凈室的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜,按規(guī)定減少風管風速,既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力,降低了風機壓頭和轉(zhuǎn)速,減弱了風機噪聲,又防止了風速過大而產(chǎn)生的附加噪聲。

潔凈室在使用期間,除了要對你潔凈度、溫濕度做測試和控制之外,對噪音標準也需要控制。人和凈化解析潔凈室噪音標準和潔凈室噪音控制方法。

潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語言通訊干擾和對工作效率的影響。

國內(nèi)對于噪音對于健康影響的研究表明,低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲對健康的影響不太大。

國外潔凈室噪聲標準的研究工作開始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規(guī)定:“潔凈室的噪聲控制在可能進行必要的通話,滿足操作或產(chǎn)品的要求,并使人員保持在舒適和安全的范圍內(nèi)”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規(guī)定:“應根據(jù)潔凈室內(nèi)人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設備)的背壓級來選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB(A)”。

從搜集的國內(nèi)外潔凈室的噪音標準來看,有以下幾個特點:潔凈室的噪音標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下,噪聲條件主要在于保障正常操作運行,滿足必要的談話聯(lián)系,提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數(shù)標準給出的允許值在65-70dB(A)范圍,醫(yī)療行業(yè)更低。現(xiàn)行的大多數(shù)標準均以A聲級作為評價指標,也有少數(shù)標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數(shù)標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值,而大多數(shù)標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個統(tǒng)一的容許值。

對國內(nèi)幾個行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動態(tài)噪聲所進行的分析表明,不同氣流流型的靜態(tài)噪音有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在41-64 dB(A),平均為54 dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實測值在51-75 dB(A),平均為65 dB(A)。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風量(或換氣次數(shù))和凈化空調(diào)系統(tǒng)的特征有關。 控制設備噪聲首先應從聲源上著手,設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下,由于技術或經(jīng)濟的原因而難于做到時,則應從噪聲傳播途徑上來采取降噪措施。例如,把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)有些潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間,或技術夾道或服務區(qū)內(nèi),潔凈室噪聲有明顯的降低。

潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關。但關鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。

關于降低潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲的措施,國內(nèi)外有關資料提出一些有效措施:

《現(xiàn)代潔凈室概念》一文中強調(diào)“選擇那種能滿足氣流要求的噪聲最低的風機,還應該采用彈性減振基礎”。關于消聲器的使用,文中說:“管道消聲器在高頻和中頻范圍內(nèi)降低噪聲是有效的,當風管敷設長度在15m內(nèi)時,就應考慮采用消聲器”。關于風管的連接,文中說:“通風機和送風管道與回風管道之間,應采用柔性連接管隔開”。還要求“將通風機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對風道系統(tǒng)采取消聲和防止管道固體傳聲等措施,潔凈室噪聲可以大幅度地降低。

排風系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例,在生產(chǎn)過程中,外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風系統(tǒng)。近年來,對于潔凈廠房排風系統(tǒng)噪聲治理日益受到重視,注意選用低噪聲風機等。

潔凈室的密封性能比較好,噪聲不易衰減,由于潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境要求比較安靜,按規(guī)定減少風管風速,既減少了凈化空調(diào)系統(tǒng)的阻力,降低了風機壓頭和轉(zhuǎn)速,減弱了風機噪聲,又防止了風速過大而產(chǎn)生的附加噪聲。

 

潔凈廠房設計規(guī)范里的噪音控制標準

1、潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)),非單向流潔凈室不應大于60dB(A),單向流、混合流潔凈室不應大于65 dB(A)。

2、潔凈廠房的平、剖面設計應考慮控制要求。潔凈室的維護結(jié)構(gòu)應具有良好的隔聲性能,并使各部分隔聲量相接近。

3、潔凈室內(nèi)的各種設備應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設備,應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。

4、凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內(nèi)的排風系統(tǒng)除事故排風外應進行減噪設計。

5、凈化空調(diào)系統(tǒng),根據(jù)室內(nèi)容許噪聲級要求,風管內(nèi)風速宜按下列規(guī)定選用總風管: 6-10m/s;

送、回風口的支風管為4-6m/s;

有送、回風口的支風管為2-5m/s。

 

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